Profil mis à jour
Chercheurs
Dominique Drouin
Chaire de recherche industrielle CRSNG-IBM Canada en encapsulation microélectronique pour l’échelonnement de la performance
Département de génie électrique et de génie informatique,
Faculté de génie
Téléphone : 62115, poste 62115
Courriel : dominique.drouin@usherbrooke.ca
Site web personnel : https://www.usherbrooke.ca/gelecinfo/fr/departement/profs/drod-fr/
Google Scholar : https://scholar.google.com/citations?user=k8BMxEcAAAAJ
Biographie
Sujets de recherche
Micro et nanofabrication, nanoélectronique, nanomatériaux
Intérêts de recherche
Développement de dispositif nanoélectronique à faible consommation d’énergie (fabrication de transistor à nanofil de Si / SiGe, à nanotube de carbone, film mince de silicium et monoélectronique), intégration sur CMOS de fonction innovante (capteurs gaz/contrainte/humidité, mémoire résistive à oxyde métallique, circuit faible consommation)
Mots-clés
Dispositifs nanoélectroniques, blocage de Coulomb, mémoire non volatile, lithographie à faisceau d’électrons, aplanissement mécano chimique, gravure par plasma