Groupe INPAQT
Integrated Nanoelectronics and Packaging for AI and Quantum Technologies
Nanoélectronique intégrée et packaging pour l'Intelligence Artificielles et Technologies Quantiques
Spécialistes en recherche appliquée, notre objectif est de développer des matériaux, procédés de microfabrication et d'intégration pour la conception et la réalisation de dispositifs, circuits et systèmes pour la microélectronique avancée. Nous privilégions la recherche partenariale et collaborative universités-industries qui peut mener à des preuves de concept, prototypes ou développement de procédés novateurs qui seront facilement transférables vers l'industrie. Nous favorisons un travail collaboratif, participatif où se côtoient interdisciplinarité, intégration, écoute et partage. Les projets sont réalisés dans des environnements à la fine pointe technologique, dans une ambiance conviviale, dynamique et agréable. Nos membres sont formés pour affronter la réalité et les défis technologies des entreprises d’aujourd’hui.
#mots clés: mémoires résistives émergentes, ingénierie neuromorphique, intelligence artificielle, technologies quantiques, intégration hétérogène, encapsulation avancée, nanofabrication
Professeurs et chercheurs
Dominique Drouin
Professeur titulaire
Serge Ecoffey
Professeur sous octroi de recherche
À propos du Groupe INPAQT
Professionnels de recherche
Postdoctorats
- Bhagyashre Zinzuvadiya (début juin-24) - Métrologie d'ensemble de qubit de spins commercial.
- Iman Shackery (début avril-24) - Développement de procédé de fabrication du Qubit de spin à base de SiGe.
- Hussein Assaf (début avril-23) - Conception et caractérisation d’une puce dédiée pour le contrôle de qubit en utilisant un circuit d’apprentissage automatique.
- Dipti(début juin-23) - Développement d'une plateforme de nanofabrication de dispositifs microélectroniques quantiques innovants
Doctorats
- Hamza Derbani (septembre 2024) - Plateforme d'interposeur Si pour des applications quantiques et Bio-Médicales.
- Faycal Houssaini (début mai 2024) - Développement de protocoles de caractérisation pour comprendre les variations de performances des dispositifs quantiques supraconducteur.
- Idris Aboubakari (début mars 2023) - Développement et caractérisation de matériaux supraconducteurs pour la réalisation de systèmes quantiques à grande échelle.
- Alexandre Guilbault (début septembre 2021) - Conception et fabrication de microdisques en diamant pour magnétométrie quantique.
- Brunn Hild Boucher (début janvier 2024) - Fabrication de transitors à dopant unique pour l'information quantique.
- Étienne Grondin (début août 2019) - Étude du bruit de charge dans les boîtes quantiques Si-MOS avec micro-aimant en fonction de la géométrie et du procédé de fabrication.
- Victor Yon (début février 2020) - Développement de stratégies d'apprentissage adaptées aux réseaux de neurones à base de memristors pour l'informatique quantique sur silicium.
- Hussein Hamieh (début septembre 2020) - Développement d’interconnexions à haute densité sur substrat organique pour intégration hétérogène de puces microélectronique.
- Juliano Nestor Borges (début janvier 2021) - Développement de procédés de gravure plasma de couche minces métalliques pour la microfabrication d'interconnexions à haute densité dans des applications d'encapsulation avancées.
- Hafiz Waqas Ali (début janvier 2021) - Interconnexion hors eutectique à basse température par SLID.
- Joao Henrique Quintino Palhares (début janv-21) - Étude de la mémoire multi-niveaux pour le calcul en mémoire et des réseaux neuromorphiques analogiques à impulsions.
- Matthieu Valdenaire (début janvier 2021) - Étude de circuits à base de mémoire résistives TiO2 pour l'implémentation de réseaux de neurones sur CMOS.
- Shrivani Pandiya (début janvier 2021) - Développement d'un procédé de fabrication additive d'interconnexions haute densité sur substrats organiques.
- Nikhil Garg (début août 2021) - Apprentissage en mémoire neuromorphique avec mémoire non volatile à l'échelle nanométrique.
- Franck Sabatier (début août 2021) - Optimisation d'inductance par topolopies et matériaux pour les applications RF et quantum en technologie CMOS.
- Davide Florini (début janvier 2022) - Fabrication de nano-dispositifs de mémoire sur circuit CMOS pour des applications neuromorphiques.
- Adi Tihic (début janvier 2022) - Nanofabrication de dispositifs quantiques innovants.
- Thomas Lesueur (début septembre 2022) - Étude de méthodes d’auto assemblage de puces avec pont de silicium pour l’électronique à haute performance.
- Arsène Guedon(début janvier 2023) - Développement de capteurs de déformation innovants sur puces microélectroniques pour le calcul haute performance.
- Bastien Galaup(début mars 2023) - Circuits Neuromorphiques CMOS-OxRAM pour l’Auto-calibration de Boites Quantiques
Maîtrises
- Marie Lafontaine (début juin 2024) - Adressage ODMR à champ de polarization nul.
Postdoctorats
- Jie Xu (début sept-22) - Intégration de circuits neuromorphiques 3D pour l'intelligence artificielle.
- Mohamed Najah(2023) - Procédé de moulage pour l'intégration hétérogène à haute densité.
- Olga Chichvarina (2021) - Développement d'un procédé de fabrication pour les interconnexions entre les puces sur des wafers reconstruits, sur des memristors en BEOL des puces CMOS et approche ''mix-and-match'' entre la lithoraphie UV et e-beam. lithography.
- Juliana Chawich (2021) - Modélisation de l'interaction laser dans la singularisation des puces microélectroniques.
- Yang Qiu (2021) - Conception et fabrication de véhicules d'essai pour l'évaluation des performances des ponts en silicium.
- Nizar Bouguerra (2021) - Renforcement thermique de l'avance Postdoc au paquet microélectronique.
- Javier Arias Zapata (2020) - Développement d'un procédé plasma pour l'intégration de barres croisées meristives sur CMOS.
- Gwenaëlle Lamri (2020) - Matrices de mémoire analogique crossbar CMOS BEOL pour application neuromoprhique.
- Julien Pezard (2019) - Intégration de capteurs à base de CNT dans un module microélectronique.
- Somsubhra Chakrabarti (2019) - Développement d'un procédé de fabrication de RRAM haute densité.
- Yosri Ayadi (2018) - Capteurs embarqués pour la fiabilité des emballages de microélectronique.
- Bruno Lee Sang (2017) - Recherche technologique sur les dispositifs nanoélectroniques intégrés sur CMOS.
- Umar Shafique (2017) - Intégration de capteurs d'humidité dans un boîtier microélectronique.
- Jeff Moussodji Moussodji (2019) - Impact de la singularisation des puces sur la fiabilité des boîtiers de microélectronique.
- Yann Beilliard (2017) - Conception et fabrication d'un inducteur 3D sur verre pour convertisseur de tension.
- Emilie St-Jean (2016) - Développement et test d'un agent de couplage pour l'amélioration de l'adhérence du sous-film dans un boîtier de puce à bosses.
- Charlotte Mallet (2015) - Étude de l'agent de couplage de sous-remplissage dans packaging avancé.
- Patrick Wilson (2016) - Conception et fabrication d'un capteur d'humidité à base de CNT pour l'amélioration du processus de fabrication des puces retournées.
- Benattou Sadani (2015) - La lithographie par faisceau d'électrons pour une résolution ultime et une intégration 3D.
- Marc Guilmain (2014) - Développement d'un procédé de gravure pour un imageur IR.
- Amer El Hajj Diab (2013) - Étude des propriétés électroniques des jonctions tunnel pour la nanoélectronique.
- Céline Masclaux (2014) - Réserves lithographiques à haute température pour la couche sacrificielle dans la fabrication de MEMS optiques.
- Mamadou Diop (2013) - Problèmes de sous-remplissage des emballages de semi-conducteurs pour grandes puces.
- Asma Ayari-Kanoun (2013) - Problèmes liés au sans plomb dans l'emballage des semi-conducteurs pour les grandes puces.
- Aurélie Lecestre (2012) - Développement du processus de fabrication de SET sur circuit CMOS.
- Christian Nauenheim (2013) - Fabrication et caractérisaton de Memrestor TiO2.
- Nader Jedidi (2011) - Intégration d'un dispositif à électron unique dans la technologie CMOS.
- Abdelkader Aliane (2011) - Microfabrication d'un microcalorimètre pour une application d'imagerie médicale.
- Lino Eugene (2010) - Développement d'une technique avancée de lithographie par faisceau d'électrons.
- Hendrix Demers (2011) - Simulation Monte Carlo d'échantillons 3D et liquides dans STEM.
- Serge Ecoffey (2012) - Fabrication d'une mémoire non volatile basée sur la technologie hybride SET-CMOS.
- Arnaud Beaumont (2009) - Développement d'un procédé CMP pour la fabrication de transistors à électron unique à température ambiante.
Doctorats
- Raphaël Dawant (2024) - Développement d'un procédé de microfabrication manufacturable pour l'intégration 3D de circuits neuromorphiques dans le back-end-of-line de puces CMOS.
- Dorian Coffineau (2024) - Étude des jonctions tunnels ferroélectriques à base de HZO pour une implémentation dans les circuits neuromorphiques.
- Pierre-Antoine Mouny (2024) - Co-intégration de memristors & boîtes quantiques pour l'informatique à grande échelle.
- Benoît Manchon (2023) - Réalisation de synapses artificielles ferroélectriques pour l'implémentation matérielle de réseaux neuromorphiques.
- Romain Stricher (2022) - Polissage mécano-chimique pour la fabrication de films minces de silicium poly-cristallin dopé in-situ en bore et leur assemblage par collage direct.
- Maxime Plourde (2022) - Conception et fabrication de sélecteurs non-linéaire à base d'effet tunnel.
- Abdelouadoud El Mesoudy (2022) - Développement et optimisation au niveau des matériaux des mémoires résistives à changement de valence pour le calcul-en-mémoire.
- Adham Elshaer (2022) - Capteur d’hydrogène mos et méthode d’intégration à une technologie de transistor FDSOI.
- Quentin Vandier (2021) - Conception d’un circuit pour la lecture de capteurs de température et d’humidité à base de nanotube de carbone intégré au sein d’assemblages microélectroniques.
- Abderrahim El Amrani (2020) - Développement d’un procédé d’électrodéposition séquentielle pour fabrication des microbilles à haute densité.
- Maxime Godard (2020) - Traitement par plasma en ligne pour l'amélioration des procédés d'encapsulation Flip-Chip.
- Getenet-Tesega Ayele (2019) - Développement d'ISFETs ultrasensibles et compatibles CMOS dans le BEOL de transistors industriels UTBB FDSOI.
- Vincent Lafage (2019) - Développement d’inductances à cœurs magnétiques pour une intégration d’un convertisseur dc-dc sur un interposeur en verre.
- Emmanuel Tetsi (2019) - Développement de films minces à base de nanoparticules diélectriques et optimisation de dépôt pour fabriquer des condensateurs de découplage utilisés dans des assemblages à haute densité de modules électroniques.
- Youcef Ataellah Bioud (2019) - Ingénierie de défauts liés à l’hétéroépitaxie de Ge sur Si: Substrats virtuels à base de germanium poreux pour le photovoltaïque.
- Arbi Maalaoui (2018) - Étude et caractérisation du positionnement de nanotubes de carbone par diélectrophorèse pour la fabrication de capteurs chimiques en milieu liquide.
- Mouawad Merhej (2018) - Intégration 3D des transistors à nanofils de silicium-germanium sur puces CMOS.
- Aurore Quelennec (2018) - Capteurs intégrés pour la fiabilisation des technologies d'encapsulation en microélectronique.
- Marina Labalette (2018) - Intégration 3D de mémoires résistives complémentaires dans le back-end-of-line du CMOS.
- Yosri Ayadi (2016) - Intégration 3D de dispositifs SET dans le Back-End-Of-Line en technologies CMOS 28 nm pour le développement de capteurs ultra basse consommation.
- Bruno Lee Sang (2016) - Développement de procédés technologiques pour une intégration 3D monolithique de dispositifs nanoélectroniques sur CMOS.
- Khalil El Hajjam (2016) - Ingénierie de jonctions tunnel pour améliorer les performances du transistor mono-électronique métallique.
- Gabriel Droulers (2016) - Conception et fabrication d'un automate cellulaire quantique basé sur un procédé de transistors monoélectroniques métalliques damascènes.
- Marc Guilmain (2013) - Fabrication de mémoire monoélectronique non volatile par une approche de nanogrille flottante.
- Mohamed Amine Bounouar (2013) - Transistors mono-électroniques double-grille : modélisation, conception & évaluation d'architectures logiques.
- Nicolas Jouvet (2012) - Intégration hybride de transistors à un électron sur un noeud technologique CMOS.
- Asma Ayari-Kanoun (2011) - Fabrication et caractérisation de nanocristaux de silicium localisés, réalisés par gravure électrochimique pour des applications nanoélectroniques.
- Emmanuel Dupuy (2010) - Croissance et spectroscopie de boîtes quantiques diluées d'InAs/InP(001) pour des applications nanophotoniques à 1,55 [micro]m.
- Lino Eugene (2009) - Réalisation et caractérisation opto-électrique d'un nanopixel à base de nanocristaux de silicium.
- Christian Dubuc (2008) - Étude et fabrication de transistors mono-électroniques à température d'opération étendue.
Maîtrises
- Pierre Gliech (début janv-22) - Développement d'un procédé de passivation pour memristors compatible CMOS.
- Patrick Dufour (2023) - Conception d'un système d'apprentissage à base de FPGA intégré sur circuits imprimés pour réseaux de neurones artificiels sous forme matricielle.
- Philippe Drolet(2023) - Réseaux neuronaux robustes face à la variabilité de l'apprentissage machine sur crossbar passif de mémoires résistives à base de TiO2.
- Julien Devulder (2021) - Caractérisation cryogénique de structures industrielles FD-SOI CMOS pour l'information quantique.
- Claude Rohrbacher (2019) - Étude cryogénique de nano-structures FD-SOI CMOS.
- Alexandre Rousseau (2019) - Nanofil de cuivre pour des applications de mémoire non-volatile contrôlés par électromigration.
- Frédéric Brousseau (2019) - Fabrication de mémoires résistives analogiques à base de TiO2-x pour applications neuromorphiques.
- Maxime Plourde (2018) - Fabrication d'un détecteur de charge basé sur un transistor monoélectronique métallique damascène.
- Simon Landry (2017) - Fabrication et intégration dans un module assemblé d'une jauge de déformation et d'humidité à base de nanotubes de carbone.
- Lucas Valverde (2014) - Conception de cellules bipolaires commutables pour la technologie « Resistive Random Access Memory ».
- Frédéric Bourque (2014) - Conception de circuits de lecture adaptés à des dispositifs monoélectroniques.
- Jean-Philippe Richard (2013) - Fabrication de transistors monoélectroniques pour la détection de charge.
- Damien Griveau (2013) - Mise en oeuvre de l'aspect démonstrateur des transistors mono-électroniques.
- Patrick Harvey-Collard (2013) - Fabrication de transistors mono-électroniques en silicium pour le traitement classique et quantique de l'information : une approche nanodamascène.
- Jean-Francois Morissette (2010) - Fabrication par lithographie hybride et procédé damascène de transistors monoélectroniques à grille auto-alignée.
- Franck Ky Trinh (2010) - Simulation d'un réseau de neurones à l'aide de transistors SET.
- André-Sebastien Aubin (2007) - Mesures de courants de faisceaux avec un dispositif Schottky en microscopie électronique à balayage à pression variable (VP-SEM).
- Francois Gaudreau (2004) - Étude des propriétés optiques d'un nombre réduit de boîtes quantiques par photoluminescence et cathodoluminescence.
- Xavier Tastet (2004) - Validation d'un modèle de simulation d'imagerie par microscopie électronique à balayage par l'étude d'hétérostructures semi-conductrices de très haute résolution.
- Nadia Lahkak (2003) - La caractérisation optique et structurale des structures à boîtes quantiques d'InAs/InP par cathodoluminescence à faible énergie.
Stagiaires internationaux
- Sarra Hatla (2024) - Nanofabrication de structures d'adressage photonique.
- Adrien Aboudib (2024) - Étude de mémoires ferroélectriques à base de Hf0.5Zr0.5O2 pour des applications liées au calcul en mémoire pour l'intelligence artificielle et les technologies quantiques.
- Guillaume Capet (2024) - Développement de systèmes électroniques/logiciels pour l'apprentissage de réseaux de neurones artificiels à base de crossbar de memristors.
- Elias Abboubi (2024) - Caractérisation de memristors pour réseaux de neurones.
- Sarra Zitoun (2024) - Nanofabrication de structures d'adressage photonique.
- Houria Mbala (2024) - Construire un PMV: ODMR d'un µm-SCD sur puce.
- William Genetelli (2023) - Calibration automatique in-situ et en temps réel de boites quantiques sur silicium à l’aide d’algorithmes d’IA à très faible consommation d’énergie.
- Stanislas Pastor(2023) - Développement de briques technologiques pour les prochaines générations de qubits de spin dans le Si, le Ge et les alliages SiGe
- Yohan Finet(2023) - Impact des non-idéalités des memristors dans les crossbars pour l'auto-calibration de l'état de charge de boîtes quantiques basé sur un réseau de neurones : une approche par simulation de circuits analogiques
- Roumli Nourzat(2023) - Développement d’interconnexions supraconductrices pour l’électronique cryogénique appliquées aux technologies quantiques.
- Bastien Galaup(2023) - Calilbration automatique in-situ et en temps réel de boîtes quantiques sur silicium à l'aide d'algorithmes d'IA à très faible consommation d'énergie.
- Brice Torti(2022) - Développement, la fabrication et la caractérisation de mémoires résistives pour des applications de circuits neuromorphiques.
- Arsène Guedon (2022) - Développement, fabrication et caractérisation de capteurs de température et de déformations sur des modules électroniques multi-puce.
- Adrien Delpoux (2022) - Développement, fabrication et caractérisation de mémoires résistives conçues pour fonctionner en température cryogénique auprès de technologies quantiques.
- Wellington De Oliveira Avelino (2021) - Développement de circuits neuromorphiques à base de memristors et étude des applications d'apprentissage automatique avec ce matériel.
- Julien Aubourg (2020) - Étude de l'auto-assemblage d'un pont en silicium pour un module microélectronique multi-puces de haute performance.
- Nikhil Garg (2020) - Développement de circuits neuromorphiques à base de memristors et étude des applications d'apprentissage automatique avec ce matériel.
- Thibault LeGentil (2020) - Développement d'un procédé de microfabrication semi-additive à haute densité d'interconnexion sur substrat organique.
- Joao Henrique Quintino Palhares (2020) - Fabrication et caractérisation électrique de mémristors basés sur le matériau TaOx/Zr.
- Hussein Hamieh (2020) - Étude des interconnexions de cuivre à haute densité sur différents substrats à l'aide du logiciel COMSOL Multiphysics.
- Yuanyan Guo (2020) - Caractérisation électrique de dispositifs individuels de type memristor et de circuits cross bar pour des applications neuromorphiques.
- Pierre-Vincent Guenery (2016) - Fabrication et caractérisation d'une mémoire résistive planaire à base d'oxyde de hafnium.
- Emna Farjallah (2014) - Fabrication et étude d'une mémoire résistive à accès aléatoire en HfO2.
- Fabien Deprat (2013) - Modélisation de l'interaction de la résine électronique 3IT pour la lithographie par faisceau d'électrons à haute énergie.
- Chao Lu (2013) - Qualification of TiN material in SET fabrication.
- Siegfried Chicot (2012) - Optimisation du processus de lithographie pour les dispositifs nanoélectroniques.
- Thibault Labbaye (2012) - Caractérisation électrique et morphologique des nanofils de Ti.
- Cleo Gonnet (2012) - Optimisation du processus de CMP pour la fabrication de SET.
- Jeremy Blanc (2011) - Migration towards a new CMP planarization system.
- Onoriu Puscasu (2010) - Fabrication d'un transistor à électron unique par planarisation CMP.
- Jeremy Pont (2010) - Process development for SET island using negative ebeam.
- Bruno Lee Sang (2010) - Développement d'un procédé d'interconnexion pour les hybrides SET-CMOS.
- Luca Incarbone (2009) - Fabrication d'un nanopixel à base de matériaux nanocristaux de silicium.
- Pierre Markey (2008) - Caractérisation du TiOx formé par le plasma O2.
A Versatile Multi-Project Cleanroom Fabrication Process for Superconducting Quantum Circuits
Consortium on Quantum simulation with Spin Qubits (CQS2Q)
Chaire de recherche industrielle CRSNG-IBM Canada sur l’intégration hétérogène à haute performance
Chaire de recherche C2MI en microfabrication et intégration
Advanced Manufacturing Toolkit for Quantum Sensing and Quantum Computing
Multi-user and low-cost silicon interposer platform for bio/quantum systems
Packaging
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Ingénierie Neuromorphique
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Nanoélectronique quantique:
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6 octobre 2023 Pour que l'innovation technologique soit responsable |
29 mai au 2 juin 2023: |
7 mai au 17 septembre 2023 Raphaël Dawant, image #05, finaliste |
22 février 2023: |
6 octobre 2022: L'UdeS et le C2MI créent une chaire de recherche en microfabrication et intégration. |
22 juin 2022 - Volet quantique: Explorer le potentiel des memristors pour l'ordinateur quantique et l'intelligence artificielle. |
8 décembre 2021: |
6 décembre 2021: |
6 novembre 2020: Concours de haut niveau du CRSNG et du UKRI dans le domaine quantique. Un partenariat entre le Canada et le Royaume-Uni pour la technologie quantique. |
16 janvier 2020: |
7 octobre 2019: Une équipe de 3iT/LN2 met en place un procédé innovant de fabrication de cellules solaires. |