Spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie
La spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS) est une technique analytique couplée avec différentes applications, dont la microscopie électronique à balayage. L’analyse EDS repose également sur les interactions d’un faisceau d'électrons à la surface d’un échantillon produisant des rayons X qui sont caractéristiques des éléments présents. Elle permet entre autres la détermination de la composition élémentaire de points individuels ou à faire ressortir par cartographie la distribution d'éléments issus de la zone numérisée sous forme d’image.
Le détecteur X-Max 50 de la compagnie Oxford Instruments fait partie intégrante du microscope électronique à balayage haute résolution S-4700 de Hitachi permettant l’analyse élémentaire allant du bore à l’uranium.