Analyse chimique par spectroscopie d’électrons (ESCA ou XPS)
La spectroscopie électronique des rayons X (XPS) est une technique d’analyse non destructive qui détermine la composition chimique des surfaces de matériaux. Avec cette technique, la matière est excitée par une source de rayons X, et l’énergie cinétique du photoélectron émis est utilisée pour déterminer l’énergie de liaison de l’atome. Cette technique détecte tous les éléments du tableau périodique sauf l’hydrogène et l’hélium.
Le XPS Axis UltraDLD de la compagnie Kratos permet l’analyse semi-quantitative de tous matériaux secs et solides avec une limite de détection d’environ 0.1 % atomique. En mode haute résolution, il est aussi possible d’identifier l’état chimique des atomes à la surface.
Caractéristiques
- Deux sources d’excitation sont disponibles : une anode monochromatique d’aluminium et une anode achromatique de magnésium
- Neutralisateur de charge pour l’analyse de matériaux semi-conducteurs ou non-conducteurs
- Canon à ions argon pour l’analyse chimique en profondeur des matériaux
- Un analyseur sphérique miroir qui permet de réaliser l’imagerie de la composition chimique des surfaces en temps réel
- Deux platines chauffantes et refroidissantes situées dans la préchambre et dans la chambre d’analyse qui permettent de travailler dans une gamme de température allant de -100 à 300°C