Station de mesures électriques en salle blanche Wentworth MP400
Description
Station qui comprend une station sous pointes manuelle avec 4 manipulateurs, deux analyseurs paramétriques I-V, un analyseur d’impédance gain-phase et un appareil de mesure à sonde à 4 pointes pour mesures de résistivité
Station sous pointes manuelle en salles blanches
Rôle de l’appareil
Permettre d’effectuer les mesures électriques sous pointes
Marque et modèle
Wentworth MP400
Spécifications techniques
- Pour substrats jusqu’à 4 po. de diamètre
- 4 manipulateurs à base magnétique
- Contrôles du positionnement des aiguilles (probes) selon 3 axes
- Microscope optique avec 3 objectifs (2X, 4X et 8X) et oculaires 10X
- Zoom 1X à 2X
- Image live captée par caméra analogique avec affichage sur écran
Exemples de procédés disponibles
Interconnexions des manipulateurs avec les sources et appareils de mesure pour effectuer des mesures électriques I-V, C-V, I-t, V-t, à 4 pointes (résistance) etc.
Analyseur d’impédance/gain-phase
Rôle de l’appareil
Mesures d’impédance et particulièrement de Capacitance vs tension (C-V) et de Conductance vs fréquence (G-w)
Marque et modèle
Schlumberger SI 1260
Spécifications techniques
- Fréquence : 10uHz à 32MHz
- Amplitude AC : 0 à 3V (< 10MHz), 0 à 1V (>=10MHz)
- Polarisation DC : +/- 40.95Vdc +/-100mA
- Balayages : Fréquence, amplitude, polarisation
- Utilisation autonome possible
- Contrôle à distance avec acquisition et traitement des données fait par ordinateur
- Branchement aux manipulateurs de la station sous pointes
- Branchement possible sur sonde au mercure ou autre station de test
Exemples de procédés disponibles
- Caractérisation de dispositifs par évaluation de la concentration de porteurs dans le substrat semi-conducteur à l’aide de mesures C-V sur capacités MOS, MIS, MIM, jonctions Schottky ou diodes polarisées en inverse, etc.
- Mesures G-w
Analyseur paramétrique Keithley pour caractérisation en salles blanches
Rôle de l’appareil
Mesures électriques (I-V), (I-t), (V-t)
Marque et modèle
Keithley S4200
Spécifications techniques
- 4 SMUs (unités de sources et de mesures) sans préamplificateurs
- Courant de source maximal de 100mA par SMU
- Tension maximale de source de 20V sans interlock, possibilité de 200V avec interlock.
- Résolution de mesure de 1pA en courant et de 1uV sur les échelles les plus fines.
- Logiciel de contrôle de l’instrument et d’acquisition et de traitement des données à même l’appareil.
- Librairies de tests disponibles pour divers types de dispositifs
Exemples de procédés disponibles
- Caractérisation de transistors MOS (courbes Id-Vds, Id-Vgs, etc.) et autres dispositifs
- Mesures de résistance de nanofils
- Vérification des contacts ohmiques après recuit
- Mesures de tension de seuil de diode
- Évaluation du courant de fuite de grilles de condensateur
Analyseur paramétrique HP
Rôle de l’appareil
Mesures électriques, dédié actuellement pour mesures de résistivité avec appareil à sonde à 4 pointes
Marque et modèle
Hewlett Packard HP4145A
Spécifications techniques
- 4 SMUs, plus 2 sources de tension et 2 voltmètres
- Courant de source de 100mA maximum par SMU
- Tension maximum de 42V maximum sans interlock et de 100V avec interlock et avec mise à la terre du commun
- Résolution maximale de 1pA et de 1mV
Exemples de procédés disponibles
- Mesures I-V, I-t, V-t, ainsi que mesure de résistance à 4 pointes lorsque relié à un appareil « 4 points probe »
Sonde à 4 pointes
Rôle de l’appareil
Mesure de résistivité par contact en surface
Marque et modèle
Signatone (4 points probe)
Spécifications techniques
- Substrats jusqu’à 3 po de diamètre
- Tête de sonde avec 4 pointes en carbure de tungstène, disposés en ligne et à 50mils de distance, avec force de ressort de 85g
Exemples de procédés disponibles
- Mesure de résistance de substrats ou d’échantillons semi-conducteurs
- Mesure de résistance de couches semi-conductrices ou métalliques