Résines d’électrolithographie
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
ma-N 2401
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 100 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
ma-N 2403
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 350 nm
Type CD/Spacing : n/a
![MaN2405](/3it/fileadmin/_processed_/5/e/csm_MaN2405_f4719bccf9.png)
ma-N 2405
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 500 nm
Type CD/Spacing : 200/400 1000/1000
![MaN2410](/3it/fileadmin/_processed_/0/8/csm_MaN2410_24e86f3984.png)
ma-N 2410
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 1000 nm
Type CD/Spacing : 200/400 1000/1000
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
mr-EBL-6000.1
Résolution : 80 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 100 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
mr-EBL-6000.3
Résolution : 80 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 300 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
mr-EBL-6000.5
Résolution : 80 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 500 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image dispo](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
AR-P 6200.04
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 80 nm
Type CD/Spacing : n/a
![AR-6200.09](/3it/fileadmin/_processed_/b/b/csm_AR-P.6200.09_17b9d50dc9.png)
AR-P 6200.09
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 200 nm
Type CD/Spacing : 100/100 1000/1000
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
AR-P 6200.13
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 400 nm
Type CD/Spacing : n/a
![AR-P6200-18](/3it/fileadmin/_processed_/d/2/csm_AR-P.6200.18_d3e9767fd2.png)
AR-P 6200.18
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 800 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
HSQ 1%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 40 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
HSQ 2%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 50 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'Image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
HSQ 3%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 60 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
HSQ 6%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 160 nm
Type CD/Spacing : n/a
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
QSR5
Résolution : n/a
Ton résine : N
Épaisseur : 20 à 500 nm
Type CD/Spacing : n/a