Résines de photolithographie

AZMiR701

Ton résine : Positive

 Épaisseur : 0.5 um

 Résolution : 0.5 um

 AZ1505

Ton résine : Positive

Épaisseur : 0.5 um

Résolution : 0.5 um

AZ1512

Ton résine : Positive

Épaisseur : 1.2 um

Résolution : 0.7 um

AZ1518

Ton résine : Positive

Épaisseur : 1.8 um

Résolution : 1.0 um

AZ9245

Ton résine : Positive à profils verticaux

Épaisseur : 3 ou 4.5 um

Résolution : 1 ou 1.5 um

AZ4903

Ton résine : Positive à profils verticaux

Épaisseur : 8 ou 13 um

Résolution : 3 ou 5 um

AZ40XT

Ton résine : Positive à profils verticaux

Épaisseur : 13 ou 20 um

Résolution : 5 ou 10 um

LOR30B

Ton résine : Polymère pour bi‐couche lift‐off

Épaisseur : 2.4 - 6 um

Résolution : voir résine

AZNLOF2020

Ton résine : Négative à profils inversés

Épaisseur : 2, 3 ou 6 um

Résolution :1 ou 2.5 um

AZNLOF2020

Ton résine : Négative à profils verticaux

Épaisseur : 4 um

SU‐8 TF 6005

Ton résine : Négative pour photoplotter(405nm)

Épaisseur : 4 um

Résolution : 1 um

KMPR 1005

Ton résine : Négative à profils verticaux

Épaisseur : 5 um

Résolution : 2 um

NR4‐8000

Ton résine : Négative à profils inversés

Épaisseur : 8 um

Résolution : 4 um

AZ125nXT

Ton résine : Négative à profils verticaux

Épaisseur : 14.5 ou 80 um

Résolution : 7 ou 40 um

MX5015

Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé

Épaisseur : 15 um

Résolution : 8 um

MX5030

Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé

Épaisseur : 30 um

Résolution : 15 um

MX5050

Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé

Épaisseur : 50 um

Résolution : 30 um

MX5125

Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé

Épaisseur : 125 um

Résolution : 100 um