Traitement de surface
- Implanteur ionique Varian CF3000
- Laser IR 980 nm Apollo Instrument - S150-980-½C sn20100447
- Laser IR Q-Mark 1064 nm
- Laser UV 193 nm Lumonics - PM-846 ArF sn : E040002
- Laser UV 248 nm Lumonics - PM-846
- Système de nettoyage par plasma d'oxygène Tegal Corporation - Plasmaline 415
- Système de polissage mécano-chimique CMP Alpsitec E460
- Système de nettoyage de surfaces à l'ozone Novascan - PSD-UVT