Aligneuse de masques à contact 6 po Optical Associates Inc.- 806 MBA
Description
Appareil d’exposition UV pour masques photolithographiques avec alignement au substrat par la face avant et possibilité d’alignement par la face arrière
3 modes d’utilisation disponibles : hard contact, N2 hard contact et Vacuum contact
Marque et modèle
OAI- Optical Associates Inc. - 806 MBA
Spécifications techniques
- Résolution 0.8 µm
- Lampe UV 350W émettant aux longueurs d'onde situées entre 220 nm et 436 nm
- Diamètre maximum des substrats : 6 po
- Dimensions maximum des masques : carrés 7 po x 7 po
- Compatible avec l'utilisation de petits échantillons et masques 4 po x 4 po et 5 po x 5 po
Exemples de procédés disponibles
- Exposition de résines diverses (Shipley, AZ, SU8, Futurrex, dry film, etc.) selon des motifs prédéfinis en vue de la réalisation de :
- Microstructures semiconductrices (sur Si, composés III-V, etc.) et microstructures métalliques
- Masques d'implantation
- Masques de gravure
- Masques de soulèvements
- Masques de placage
- Composant permanent pour guide d’ondes ou pour canaux microfluidiques