Système de nettoyage de tranches GnP Technology Axus 412S
Description
Nettoyage de tranches (wafers) après polissage chimique/mécanique
Marque et modèle
GnP Technology Axus 412S
Spécifications techniques
- Nettoyage de tranches de 100mm à 300mm
- Nettoyage : eau DI, ultrasonique et solution NH4OH
- Système double brosses pour un nettoyage simultané sur le dessus et en dessous de la tranche
- Rotation de la tranche jusqu'à 2000rpm pendant le nettoyage ou le séchage
- Séchage à l'azote