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Microscope à force atomique AFM Park System NX20

Description

Microscope à force atomique pour l’automatisation des mesures de rugosité et de topographie de surface

Marque et modèle

Park Systems NX20

Spécifications techniques

  • Porte-échantillon de 200 mm
  • Mouvements X, Y et rotation motorisés
  • Grandeur maximum d’image 100 um x 100 um 
  • Mesure maximale en Z de 15µm
  • Logiciel : SmartScan 
  • Logiciel : Park XEA pour l’automatisation 

Procédés disponibles

  • Contact mode
  • Tapping modeImage topographique et de phase
  • True Non-contact mode 

  • PinPoint nanomechanical mode

Exemple de métrologie sur éléctrorésine