Ellipsomètre Horiba UVISEL Plus
![Ellipsomètre Horiba](/3it/fileadmin/_processed_/9/4/csm_ellipso_Horiba_2c9d355291.jpg)
Rôle de l'appareil
Mesure de l'épaisseur et de l'indice de réfraction de couches diélectriques, semiconductrices ou organiques et de structures multicouches
Marque et modèle
Horiba UVISEL Plus
Spécifications techniques
- Caractérisation dans la bande 190 -2100 nm -
- Mesure à angle variable entre 40° et 90° step 0.01°
- Plateau 200 mm automatique en XY pour des mesures de cartographie (mapping)
- Support pour les mesures en transmission à 90°
- 3 tailles de spot : 0.05,0.1 et 1 mm à 90°
- Système d’imagerie avec caméra
Exemples de procédés disponibles
- Mesure d’épaisseur de couches minces (diélectriques, semiconducteurs…)
- Mesure de propriétés optiques des couches minces (indice de réfraction, coefficient d’absorption, Gap optique…)
- Caractérisation de surfaces