Four à recuit thermique rapide (RTA) JIPELEC - JetFirst
Description
Traitement thermique d'échantillons
Marque et modèle
JIPELEC - JetFirst
Spécifications techniques
- Chauffage par lampes halogènes (12)
- Puissance maximum : 30 kW
- Température maximale : 900°C en mode thermocouple
- Température maximale : 1050°C en mode pyromètre
- Diamètre maximum des substrats : 4 po, compatible avec petits échantillons
- Piloté par PC, recettes de cycle thermique définies par l'usager et comprenant jusqu'à 30 étapes, acquisition de données durant les procédés
- 4 lignes de gaz pour recuit sous atmosphère contrôlée: (1) N₂, (2) azote hydrogéné forming gas (N₂:H₂ 90:10), (3) oxygène, (4) Argon
Exemples de procédés disponibles
- Interdiffusion de puits quantiques
- Diffusion de métallisations pour contacts électriques