Fournaise à tubes Tylan Tytitan
Description
Oxydation, recuit et dépôt LPCVD
Marque et modèle
Tylan - Tytitan
Spécifications techniques
- 4 tubes
- Gaufre 3-4 po (possibilité de 6 po)
Exemples de procédés disponibles
- tube#1 : oxydation sec/humide
- tube#2 : recuit
- tube#3 : LPCVD (polysilicium)
- tube#4 : LPCVD (nitrure)