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Marie-Josée Gour

Professeure, Faculté de génie
FAC. GÉNIE Électrique et informatique

Présentation

Sujet de recherche

Micro et nanoélectronique, Nanomatériaux, Nanosystèmes, Semiconducteurs, Énergie éolienne et solaire, Nucléaire et fusion, Technologie de l'hydrogène

Disciplines de recherche

Génie électrique et génie électronique

Mots-clés

Micro et nanofabrication, Microélectronique, Dispositifs semiconducteurs, Dispositifs beta-voltaïques, Assemblage microélectronique

Intérêts de recherche

Micro et nanofabrication Microélectronique Dispositifs beta-voltaïques Dispositifs semiconducteurs Assemblage de dispositifs semiconducteurs Procédés plasma

Langues parlées et écrites

Anglais, Français

Diplômes

(2000). Étude des propriétés optiques non-linéaires dans les semiconducteurs. (Maîtrise avec mémoire, Science). Université de Sherbrooke.

(1997). (Baccalauréat, Science). Université de Sherbrooke.

Expérience académique

Assistant professor. (2023-). Université de Sherbrooke. Canada.

Research professional. (2008-2022). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (2021-2021). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (2019-2019). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (2018-2018). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (2017-2017). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (2016-2016). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (2015-2015). Université de Sherbrooke. Canada.

Teaching assistant. (1998-1998). Université de Sherbrooke. Canada.

Prix et distinctions

  • (2018) Prix de reconnaissance de l'expertise Prima Québec. Prima Québec. (Prix).

Financement

  • Subvention. (En cours d’évaluation). Candidat principal. Énergies Betavoltaïques. Chaires de Recherche du Canada (CRC). CRSNG Chaire de recherche niveau 2. 625 000 $. (2024-2029)
  • Subvention. (En cours d’évaluation). Cochercheur. Laser and phototransducers for power transfer / Laser et phototransducteurs pour le transfert de puissance. Conseil de Recherches en Sciences Naturelles et Génie du Canada (CRSNG). Alliance. 1 296 000 $. (2024-2027)
  • Subvention. (En cours d’évaluation). Candidat principal. Énergies Betavoltaïques. Fondation Canadienne pour l'Innovation (FCI). Fonds des leaders John-Evans. 300 000 $. (2024-2025)
  • Subvention. (Obtenu). Cochercheur. ALLRP 566688 - 21: Multi-user and low-cost silicon interposer platform for bio/quantum systems.. Conseil de Recherches en Sciences Naturelles et Génie du Canada (CRSNG). Alliances. 906 240 $. (2021-2024)
  • Contrat. (Obtenu). Chercheur principal. Plasma etching process development of III-V materials for optical networking applications.. Laser Components Canada. Plasma etching process development of III-V materials for optical networking applications. 10 000 $. (2023-2023)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Characterization work. IBM Canada. 3 750 $. (2022-2022)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Semiconductor based device fabrication. Conseil National de Recherches du Canada (CNRC) (Ottawa, ON). 8 500 $. (2022-2022)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Electronic Senor Platform run 2021-2022. CMC Microsystems. 22 500 $. (2022-2022)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Fabrication of silicon-based THz devices. RaySecure inc.. 4 000 $. (2020-2021)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Electronic Sensor Platform run 2020. CMC Microsystems. 10 000 $. (2020-2020)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Plasma etching. Université McGill. 1 270 $. (2019-2019)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Electronic Senor Platform run 2018-2019. CMC Microsystems. 10 000 $. (2018-2019)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. FACTTRASH project. CMC Microsystems. 15 000 $. (2017-2019)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. FACTMG986 project. CMC Microsystems. FACT. 4 000 $. (2018-2019)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Fabrication of interconnection on silicon devices. Université McGill. 2 300 $. (2018-2018)
  • Subvention. (Terminé). Collaborateur. Passeport-Innovation: Heterogeneous assembly technologies. Ministère de l'Économie et de l'Innovation du Québec. Passeport-Innovation. 75 000 $. (2017-2018)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. FACTWTCMP-2 project. CMC Microsystems. FACT. 3 000 $. (2018-2018)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. FACTCUSON project. CMC Microsystems. FACT. 14 000 $. (2015-2018)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. FACTSFATL project. CMC Microsystems. FACT. 1 500 $. (2017-2018)
  • Subvention. (Terminé). Collaborateur. Passeport-Innovation: Fabrication and assembly technology of silicon interposers. Ministère de l'Économie et de l'Innovation du Québec. Passeport-Innovation. 150 000 $. (2017-2018)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Coating-passivation of mechanical parts. Gentec Électro-Optique. 750 $. (2017-2017)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Dicing. Université McGill. 570 $. (2017-2017)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. FACTRNBCM project. CMC Microsystems. FACT. 6 100 $. (2016-2017)
  • Contrat. (Terminé). Chercheur principal. Project RD138. CMC Microsystems. 4 800 $. (2016-2017)

Publications

Articles de revue

  • Mathieu de Lafontaine, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Guillaume Gay, Abdelatif Jaouad, Marie-Josée Gour, Maïté Volatier, Simon Fafard, Vincent Aimez, Maxime Darnon. (2019). Influence of plasma process on III-V/Ge multijunction solar cell via etching. Solar Energy Materials and Solar Cells 195 49-54. DOI. (Article publié).
  • Bruno Lee Sang; Marie-Josée Gour; Maxime Darnon; Serge Ecoffey; Abdelatif Jaouad; Benattou Sadani; Dominique Drouin; Abdelkader Souifi. (2016). Selectivedry etching of TiN nanostructures over SiO2 nanotrenches using a Cl2/Ar/N2inductively coupled plasma. Journal of Vacuum Science & Technology B 34 02M102-1 - 02M102-5. DOI. (Article publié).
  • Bruno Lee Sang, Marie-Josée Gour, Abdelatif Jaouad, Serge Ecoffey, Maxime Darnon, Benattou Sadani, Abdelkader Souifi, Dominique Drouin. (2015). Inductively coupled plasma etching of ultra-shallow Si3N4 nanostructures using SF6/C4F8chemistry. 141 (15), 68-71. DOI. (Article publié).

Rapports

  • Marie-Josée Gour. (2023). 3IT_TSV_evaluation_rev2.0. Université de Sherbrooke. 23 p.
  • Marie-Josée Gour. (2022). 3IT_Planarisation_rev1.0. Université de Sherbrooke. 16 p.
  • Marie-Josée Gour. (2022). 3IT_TSV_evaluation_rev1.0. Université de Sherbrooke. 8 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2022). 220606_Report on MPW Run 2101JF Electronic Sensor Platform. Université de Sherbrooke. 63 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2022). 220610_Report on MPW Run 2101JF Electronic Sensor Platform. Université de Sherbrooke. 76 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2022). 220613_Report on MPW Run 2101JF Electronic Sensor Platform. Université de Sherbrooke. 76 p.
  • Marie-Josée Gour. (2022). Electrical performance of wafers shipped. Université de Sherbrooke. 1 p.
  • Samuel René de Cotret, Marie-Josée Gour. (2022). Report – Dimensional measurements on chips. Université de Sherbrooke. 10 p.
  • Christophe Rodriguez et Marie-Josée Gour. (2021). 211101_Process flow for JFET fabrication with and without front gate_nouvelle_version_top_gate_rev0.1. Université de Sherbrooke. 51 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2021). 211103_Process flow for JFET fabrication with and without front gate. Université de Sherbrooke. 49 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2021). 211117_Process flow for JFET fabrication with or without auto-aligned front gate. Université de Sherbrooke. 27 p.
  • Marie-Josée Gour. (2020). 3IT_JFET_run2020_rev1.0. Université de Sherbrooke. 18 p.
  • Marie-Josée Gour. (2019). CS649_process_flow_rev4.0. Université de Sherbrooke. 31 p.
  • Marie-Josée Gour. (2019). CS649_process_flow_rev4.1. Université de Sherbrooke. 33 p.
  • Marie-Josée Gour. (2019). FACTMG986_3IT.nano_etching_update_rev5.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2019). JFET I-V measurement avril 2019 K748S. Université de Sherbrooke. 6 p.
  • Marie-Josée Gour. (2019). Shipping_info_FACTTRASH_26-03-2019. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet UM2 et Passeport-Innovation/SINWINS. Université de Sherbrooke. 11 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet_UM2_rev16.1. Université de Sherbrooke. 11 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet_UM2_rev17.0. Université de Sherbrooke. 10 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet_UM2_rev18.1. Université de Sherbrooke. 44 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet_UM2_rev19.0. Université de Sherbrooke. 16 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet_UM2_rev20.0. Université de Sherbrooke. 16 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 3IT.nano_projet_UM2_rev21.3. Université de Sherbrooke. 10 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 20180226 - AEPONYX UM2 - test résines AT – externe. Université de Sherbrooke. 8 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). 20180430 - update AEPONYX UM2. Université de Sherbrooke. 8 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). 20180514- 3IT.nano_projet_UM2_update. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Artur Turala et Marie-Josée Gour. (2018). 20180703 - 3IT.nano_projet_UM2_update. Université de Sherbrooke. 3 p.
  • Artur Turala et Marie-Josée Gour. (2018). 20180731 - 3IT.nano_projet_UM2_update. Université de Sherbrooke. 5 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). FACTMG986_3IT.nano_etching_update_rev1.0. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). FACTMG986_3IT.nano_etching_update_rev2.0. Université de Sherbrooke. 5 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). FACTMG986_3IT.nano_etching_update_rev3.0. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). FACTMG986_3IT.nano_etching_update_rev4.0. Université de Sherbrooke. 9 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). FACTTRASH_update_may29_2018. Université de Sherbrooke. 10 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). FACTTRASH test run #2 on V-grooves. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Interposer Fabrication Process Flow rev2.0. Université de Sherbrooke. 15 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Interposer_project_PCM_SEM_observation_rev1.0. Université de Sherbrooke. 15 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Interposer project status update rev5.0. Université de Sherbrooke. 15 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Interposer project status update rev6.0. Université de Sherbrooke. 17 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Shipping_info_FACTCUSHF_18-04-2018. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Shipping_info_FACTMG986_12-12-2018. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Shipping_info_FACTSFATL_25-01-2018. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2018). Shipping_info_FACTWTCMP_06-07-2018. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Artur Turala, Marie-Josée Gour. (2018). Update UM2 Reunion AEPONYX-3IT du 20180612. Université de Sherbrooke. 6 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_Passeport-Innovation-SiNWINS_rev1.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_Passeport-Innovation-SiNWINS_rev2.0. Université de Sherbrooke. 13 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_Passeport-Innovation-SiNWINS_rev3.0. Université de Sherbrooke. 3 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_Passeport-Innovation-SiNWINS_rev4.0. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_Passeport-Innovation-SiNWINS_rev5.0. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev1.0. Université de Sherbrooke. 8 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev2.0. Université de Sherbrooke. 5 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev3.1. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev4.0. Université de Sherbrooke. 6 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev5.0. Université de Sherbrooke. 6 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev6.0. Université de Sherbrooke. 9 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev7.0. Université de Sherbrooke. 9 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev8.1. Université de Sherbrooke. 12 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev9.0. Université de Sherbrooke. 10 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev10.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev11.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev12.0. Université de Sherbrooke. 3 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev13.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev13.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev14.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). 3IT.nano_projet_UM2_rev15.0. Université de Sherbrooke. 9 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). CS649_process_flow_rev3.0. Université de Sherbrooke. 11 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). FACTTRASH SEM analysis. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Interposer_project_status_update_rev1.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Interposer_project_status_update_rev2.0. Université de Sherbrooke. 6 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Interposer_project_status_update_rev3.0. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Interposer_project_status_update_rev4.1. Université de Sherbrooke. 43 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Interposer process development rev1.0. Université de Sherbrooke. 9 p.
  • Marie-Josée Gour, Pierre-Olivier Gauvin. (2017). Interposer project: incoming inspection of Ag filled TSVs. Université de Sherbrooke. 24 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). RD138_3IT_JFET_process_flow_integration_rev1.0. Université de Sherbrooke. 15 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). RD138_3IT_JFET_process_flow_integration_rev2.0. Université de Sherbrooke. 16 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Shipping_info_FACTCUSH3_27-03-2017. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Shipping_info_FACTCUSH3_28-02-2017. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Shipping_info_FACTCUSHJ_20-02-2017. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Shipping_info_FACTRNBCM_07-03-2017. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Shipping_info_FACTTRASH_14-09-2017. Université de Sherbrooke. 2 p.
  • Marie-Josée Gour. (2017). Shipping_info_FACTWTCMP_06-06-2016. Université de Sherbrooke. 12 p.
  • Marie-Josée Gour. (2015). 3IT.Nano_rev2.0. Université de Sherbrooke. 11 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2015). 150521_GaN betavoltaïc batteries Test of the sample received_RC. Université de Sherbrooke. 7 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2015). 150525_GaN on Si betavoltaïc batteries_RC. Université de Sherbrooke. 5 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2015). 150708_Dicing betavoltaic batteries_RC. Université de Sherbrooke. 3 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2015). 20150115_Fabrication process of betavoltaic cells. Université de Sherbrooke. 22 p.
  • Marie-Josée Gour, Christophe Rodriguez,. (2015). CS307_status_update_rev3.3. Université de Sherbrooke. 25 p.
  • Marie-Josée Gour, Christophe Rodriguez. (2015). CS307_status_update_rev5.0. Université de Sherbrooke. 47 p.
  • Marie-Josée Gour. (2015). CS649_JFET_design_options_rev1.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Christophe Rodriguez, Marie-Josée Gour. (2015). Proposal of semi-packaged betavoltaic cells_rev1.0. Université de Sherbrooke. 4 p.
  • Marie-Josée Gour. (2015). Shipping_info_FACTCUSON_28-09-2015. Université de Sherbrooke. 1 p.

Articles de conférence

  • Bruno Lee Sang, Abdelatif Jaouad, Serge Ecoffey, Maxime Darnon, Marie-Josee Gour, Benatou Sadani, Abdelkader Souifi, Dominique Drouin. (2014). Inductively coupled plasma etching of ultra-shallow Si3N4 and SiO2 nanostructures. 40th Micro and Nano Engineering Conference. (Article accepté).
  • Bruno Lee Sang, Marie-Josee Gour, Maxime Darnon, Serge Ecoffey, Abdelatif Jaouad, Benatou Sadani, Abdelkader Souifi, Dominique Drouin. (2014). Selective dry etching of titanium nitride nanostructures with chlorine-based inductively coupled plasma. 40th Micro and Nano Engineering Conference. (Article accepté).

Autres contributions

Cours enseignés

  • Physique des portes logiques. GIF470. (2024-03-12 à 2024-01-26).Université de Sherbrooke. Canada. (2CR).
  • Électromagnétisme. GEN134. (2024-01-04 à 2024-01-16).Université de Sherbrooke. Canada. (1CR).
  • Electricité et circuit électrique. GEN137. (2023-10-10 à 2023-10-20).Université de Sherbrooke. Canada.
  • Microfabrication de biocapteurs. GEI719. (2021-09-24 à 2021-10-01).Université de Sherbrooke. Canada. (1CR).
  • Techniques de fabrication en salles blanches. GEI718. (2021-09-03 à 2021-09-24).Université de Sherbrooke. Canada. (2CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication avancée. GEI729. (2021-05-25 à 2021-07-05).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication avancée. GEI729. (2020-05-22 à 2020-07-05).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication avancée. GEI729. (2019-05-21 à 2019-06-28).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication avancée. GEI729. (2018-05-23 à 2018-06-29).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication avancée. GEI729. (2017-05-25 à 2017-07-07).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication. GEI729. (2016-05-25 à 2016-07-12).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Technologies et procédés de micro et nanofabrication. GEI729. (2015-05-27 à 2015-07-08).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).
  • Travaux pratiques Avancée. PHQ660. (1998-09-02 à 1998-12-04).Université de Sherbrooke. Canada. (3CR).

Présentations

  • Aaron Hryciw, Alberta nanoFAB, Université de l’Alberta Case user : Matthew Hamer, Nord Quantique. (2023). 3iT- Supporting a Chain of Development, Prototyping and Low Volume Production. Canadian Semiconductor Symposium. Ottawa, Canada
  • Marie-Josée Gour, Andrew Fung, Priyadarshini Mangannavar. (2021). Multi-user run of Electronic Sensor Platform. Webinar on CMC Microsystems' Electronic Sensor Platform. Sherbrooke, Canada
  • Marie-Josée Gour, Andrew Fung. (2020). Multi-user run of silicon JFET transistor Platform. Webinar on CMC Microsystems' Electronic Sensor Platform. Sherbrooke, Canada
  • Marie-Josée Gour, Andrew Fung, Farouk Azizi. (2018). Lead user run of silicon JFET transistor Platform. Webinar on CMC Microsystems' Electronic Sensor Platform. Sherbrooke, Canada
  • Marie-Josée Gour. (2017). Multi-Technology Interposer Platform Workshop and User Group Meeting_TSV_RDL. Workshop and User Group Meeting_TSV_RDL. Sherbrooke, Canada