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GEI346 - Fabrication de circuits intégrés

Présentation

Sommaire

Cycle
1er cycle
Crédits
3 crédits
Faculté ou centre
Faculté de génie

Cible(s) de formation

Acquérir les connaissances pratiques nécessaires à la fabrication des circuits LSI à base de silicium.

Contenu

Réalisation en laboratoire des principales étapes menant à la fabrication de circuits intégrés : photolithographie, oxydation, gravure, croissance de couches minces, métallisation, diffusion et implantation ionique. Fabrication d'un circuit intégré VLSI en technologie CMOS et caractérisation de ce dispositif.